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薄膜襯底 >> GaN 薄膜基片 >> 鋁酸鎂钪(ScMgAlO4)
鋁酸鎂钪(ScMgAlO4)
 

008
 
簡要介紹
ScAlMgO4晶體是最近發展起來的一種GaN和ZnO異質外延用理想的襯底材料,是目前與GaN和ZnO晶格失配最小的新型襯底材料。
詳細參數

鋁酸鎂钪(ScMgAlO4)

ScAlMgO4晶體是最近發展起來的一種GaNZnO異質外延用理想的襯底材料,是目前與GaNZnO晶格失配最小的新型襯底材料。ScAlMgO4晶體屬于六方晶系,晶格常數a=0.3246nmc=2.5195nm,具有菱形六面體層狀結構,與纖鋅礦氮化物和氧化鋅的結構相似。

ScAlMgO4是一種與GaNZnO 晶格常數和結構非常匹配的襯底材料(表1。它與GaN的晶格失配率約爲1.8%,與ZnO的晶格失配率僅爲0.09%a軸的熱膨脹系數爲6.2×10-6/℃c軸的熱膨脹系數爲12.2×10-6/℃GaNZnO外延薄膜之間的熱膨脹系數失配比傳統的藍寶石和矽等襯底好的多

主要襯底材料與GaNZnO的晶格失配率

襯底材料

ScAlMgO4

(0001)

ZnO

(0001)

SiC

(0001)

β-Ga2O3

(100)

Al2O3

(0001)

Si

(111)

GaN失配

+1.8%

+2.3%

-3.5%

+5%

-13%

+16.9%

ZnO失配

+0.09%

---

-5.2%

-6.5%

-18.4%

+40.1%

提供産品:

方向:(0001

尺寸:5×5mm, 10*10mm, 15*15mm, 20*20mm

 
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