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外延薄膜 >> Pt/Ti/SiO2/Si ,Au/Cr/Si >> Pt/Ti/SiO2/Si Au/Cr/Si
Pt/Ti/SiO2/Si Au/Cr/Si
 

01
 
簡要介紹
通過磁控濺射方法在矽片鍍膜,制備Pt/Ti/SiO2/Si  Au/Cr/Si基片,
詳細參數

 

主要性能參數

Pt/Ti/SiO2/Si

Au/Cr/Si

制備方法:

磁控濺射

磁控濺射

導電類型

P型 掺B,N型摻P

P型摻B, N型摻P

膜厚 :

Pt:150nm;過渡層Ti:20nm SiO2 500nm

Au,40~100nm,過渡層Cr,20nm

矽片晶向

<100>或者<111>

<100>或者<111>

常規尺寸:

Dia4"Dia2"10mm*10mm 10mm*5mm

Dia2"10mm*10mm 10mm*5mm

 

 

 

 

 

 

                                            

 
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