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薄膜襯底 >> 高溫超導薄膜基片 >> 鋁酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3
鋁酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3
 

07
 
簡要介紹
    鋁酸锶镧晶體從熔點溫度直至低溫下均無孿晶及相變,與高溫超導體YBCO具有相同的結構,
<001>面與其它襯底相比與YBCO<001>具有適中的晶格失配(2.5~3.5%),同時該晶體的熱膨
脹系數比其它鈣钛礦結構的晶體低,可以在較低的溫度下沈積薄膜從而改善晶格失配及減少應力。
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詳細參數

主要性能參數

生長方法

提拉法

晶體結構

立方

晶格常數

a=3.868 A    

熔點(℃)

1840

密度

6.74(g/cm3

硬度

6.5(mohs)

介電常數

22

熱膨脹系數

10 x 10-6 

顔色及外觀

根據退火情況由無色到淺棕色,無鸾晶和可見疇

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″

厚度

0.5mm,1.0mm

抛光

單面或雙面

晶向

<100>、<110>、<111>±0.5º

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

包裝

100級潔淨袋,1000級超淨室

 
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