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金屬靶材
 

01
 
簡要介紹
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詳細參數

材料
純度
最大尺寸
制備方法
Al
3~5N
1000×300mm
熔煉
Ag
4N
1000×300mm
熔煉
Au
4N
800×300mm
熔煉
Bi
4N
400×200mm
熔煉
C石墨)
3N
600×300mm
特殊燒結
Co
3N
800×300mm
熔煉
Cr
2N5~3N5
500×200mm
特殊燒結
Cu
3N7
1000×300mm
熔煉
Fe
2N5,3N,4N
1000×300mm
熔煉
Ge
4N
Dia 4″
特殊燒結
Hf
3N
500×200mm
熔煉
In
4N
800×300mm
熔煉
Mg
3N5
500×300mm
熔煉
Mo
3N5
500×300mm
特殊燒結
Ni
2N5,3N5,4N5
1000×300mm
熔煉
Pb
3N,4N
800×300mm
熔煉
Pd
3N
500×300mm
熔煉
Si
5N
Dia 4″
特殊燒結
Sn
3N5,5N
1000×300mm
熔煉
Ta
3N5
1000×300mm
熔煉
Ti
2N5,3N
1000×300mm
熔煉
V
2N5,3N
1000×300mm
熔煉
W
3N5
1000×300mm
熔煉
Zn
3N,4N
800×300mm
熔煉
Zr
3N
800×300mm
熔煉
 
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