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薄膜襯底 >> 高溫超導薄膜基片 >> 钛酸锶(SrTiO3)
钛酸锶(SrTiO3)
 

06
 
簡要介紹
      钛酸锶(SrTiO3)是当前应用最广的优秀高温超导单晶基片之一。它与YBaCuO等高温超导材料的晶格匹配好,无孪晶结构,物理、机械性能优良。使用多种制膜技术(如磁溅射,脉冲激光沉积,激光分子束外延等)制作的多种高温超导薄膜(Y-系,Bi-系,La-系等)均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指标。SrTiO3也是高温超导结技术(使用双晶基片或台阶状基片)及基片台阶化(按特定角度斜切并热处理)的首选单晶材料。
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詳細參數

主要性能參數

晶體結構

立方

生長方法

火焰法

晶格常數

a=3.905Å

熔點(℃)

2080

密度

5.175(g/cm3

硬度

6(mohs)

熱膨脹系數(/℃)

9.4×10-6

介電常數

300

化學穩定性

在水中不溶解

正切損耗

~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)

顔色及外觀

透明(根據退火狀態有時有輕微的棕色)無鸾晶

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

抛光

單面或雙面

晶面定向精度

±0.5°

邊緣定向精度

2°(特殊要求可達到1°以內)

取向

<100>、<110>、<111>等

包裝

100級潔淨袋,1000級超淨室

 
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