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薄膜襯底 >> 磁性與鐵電薄膜基片 >> 藍寶石(Al2O3)
藍寶石(Al2O3)
 

04
 
簡要介紹
       蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
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詳細參數

主要性能參數
晶系
六方晶系
晶胞常數
a=4.748Å  c=12.97Å
密度
3.98(g/cm3)
熔點
2040℃
莫氏硬度
9
熱膨脹系數
7.5  (x10-6/ oC)
热导率(卡/度 厘米 秒)
 
⊥c
//c
23℃
0.055
26℃ 0.060
77℃
0.040
70℃ 0.041
介電常數
~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
晶向
A-plane
<11-20>
2.379A
R-plane
<1-102>
1.740A
M-plane
<10-10>
1.375A
C-plane
<0001>
2.165A
晶向公差
±0.5°
常規尺寸及公差
10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
常規厚度及公差
0.5mm,1.0mm
抛光
單面或雙面
表面粗糙度
Ra<5Å(5×5μm)
包裝
100級潔淨袋,1000級超淨室

 
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