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薄膜襯底 >> 磁性與鐵電薄膜基片 >> 钆镓石榴石(GGG)
钆镓石榴石(GGG)
 

03
 
簡要介紹
     钆镓石榴石(GGG)是用于磁光薄膜的專用基片。在光通訊設備中,需大量使用1.3μ及1.5μ的光隔離器,其核心部件爲置于磁場中的YIG或BIG薄膜。不同切向的GGG單晶基片可以做到與這類磁光材料晶格的最佳匹配,從而保證YIG、BIG薄膜成功的外延生長。GGG良好的物理、機械性能和化學穩定性也保證薄膜制備過程中對基片的各項要求。GGG也是制作微波隔離器的最佳基片材料。
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詳細參數

主要性能參數
晶體結構
立方
生長方法
提拉法
晶格常數
a=12.376Å,(Z=8) 
熔點(℃)
1800
純度
99.95%
密度(g/cm3
7.09
硬度
6-7(mohs)
折射率
1.95
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
單面或雙面
晶向
<111>±0.5º
晶面定向精度:
±0.5°
邊緣定向精度:
2°(特殊要求可達1°以內)
斜切晶片
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包裝
100級潔淨袋,1000級超淨室
 
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