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薄膜襯底 >> 高溫超導薄膜基片 >> 鋁酸锶镧(LaSrAlO4)晶體
鋁酸锶镧(LaSrAlO4)晶體
 

03
 
簡要介紹
    鋁酸锶镧晶體從熔點溫度直至低溫下均無孿晶及相變,與高溫超導體YBCO具有相同的結構,<001>面與其它襯底相比與YBCO<001>具有適中的晶格失配(2.5~3.5%),同時該晶體的熱膨脹系數比其它鈣钛礦結構的晶體低,可以在較低的溫度下沈積薄膜從而改善晶格失配及減少應力。
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詳細參數

 

主要性能參數
晶系
四方
生長方法
提拉法
晶格常數
a=3.756Å   c=12.63 Å
熔點(℃)
1650
密度
5.92(g/cm3
硬度
6-6.5(mohs)
介電常數ε
~ 22
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
單面或雙面
晶向
<001>  
晶面定向精度:
±0.5°
邊緣定向精度:
2°(特殊要求可達1°以內)
斜切晶片
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包裝
100級潔淨袋,1000級超淨室

 
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